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1) Técnicas de fotolitografia a laser de alta resolução
Responsáveis: Gabriel Gama e Juciane Alves
Duração: 9h às 17h Número de participantes: 4
Este curso é voltado para profissionais com formação em nível de mestrado ou doutorado nas áreas de Nanotecnologia, Física, Engenharia de Materiais ou áreas correlatas. Com caráter prático e demonstrativo, o curso abordará as etapas de preparação de amostras, parâmetros de exposição e exposição de padrões utilizando a técnica de Grayscale e procedimentos de Backside Alignment. Essas técnicas são amplamente empregadas na fabricação de dispositivos microeletrônicos, sistemas microeletromecânicos (MEMS), sensores e componentes fotônicos, permitindo a obtenção de estruturas de alta resolução para aplicações avançadas em micro e nanotecnologia.
2) Técnica de crescimento e desbaste de filmes finos
Responsáveis: Diego González e Estefani Marchiori
Duração: 9h às 17h Número de participantes: 4
O curso apresentará fundamentos de técnicas de crescimento e desbaste de filmes finos no contexto de fluxos de micro e nanofabricação. Essas técnicas são amplamente utilizadas na fabricação de dispositivos micro e nanoestruturados, sensores e componentes eletrônicos avançados. Serão discutidos princípios físicos dos processos, preparação de amostras, deposição e remoção controlada de material, controle de espessura e compatibilidade entre etapas, incluindo sua integração com processos litográficos. Com caráter prático e demonstrativo, o treinamento incluirá atividades em sputtering e ion milling.
3) Introdução a sistemas integrados de fabricação em alto vácuo
Responsáveis: Davi Chaves e Thais de Carvalho
Duração: 9h às 17h Número de participantes: 4
O bom funcionamento de diferentes tipos de dispositivos pode depender da habilidade de realizar processos distintos de fabricação sem a exposição dos materiais à atmosfera. Para tornar isso possível, são desenvolvidos sistemas integrados conectando diferentes técnicas experimentais que compartilham um ambiente controlado de alto vácuo. Neste curso, os participantes conhecerão o sistema de fabricação de dispositivos supercondutores do Laboratório de Tecnologias Quânticas do CBPF, sendo apresentados às diferentes técnicas utilizadas para deposição, corrosão e oxidação controladas de filmes finos, com ênfase na compreensão da instrumentação que possibilita tais processos.
4) Fabricação de canais de microfluídica usando PDMS
Responsável: Roberta Dutra
Duração: 9h às 17h Número de participantes: 4
O curso apresentará os fundamentos da microfluídica e as principais etapas envolvidas na fabricação de dispositivos microfluídicos utilizando PDMS (Polydimethylsiloxane), um dos materiais mais empregados em aplicações de lab-on-a-chip, biossensores e sistemas microfluídicos. Durante o treinamento, os participantes terão uma introdução aos conceitos de fluxo em microescala, técnicas de soft lithography e processos de replicação de estruturas a partir de moldes microfabricados. Serão abordadas as etapas de preparação do PDMS, moldagem, cura, selagem e integração dos canais microfluídicos, além de exemplos de aplicações e discussão de problemas comuns encontrados durante a fabricação.
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